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洁净厂房无尘测试,其中很大部分业主都是根据净化工程最初的设想来完成测试的指标,当然这是最直截了当的目标及方法,毕竟我们在建设无尘室的意愿也是如此,要达到我们的空气洁净度有需求。在单一流向型洁净厂房,风速测量的位置可由业主指定,一般是在滤网表面或是工作高度。但是需注明是滤网风速测量(滤网表面)或是洁净厂房室内风速测量(工作高度)。
洁净厂房被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。洁净厂房是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
气流是控制洁净度与温湿度的最主要因素,它对噪音也有一些影响。因此风速测量,都是放在洁净厂房测试的第一步。风速测量的目的,是确认滤网送出的气流满足设计规范,其次是确认气流的均匀度。在某些场合可能因现场的限制,室内换气量还必须用风速乘以出口面积来换算。
单一流向型洁净厂房,很多都是设计成垂直层流,因此风速均匀度非常重要,只有均匀的垂直层流,才能有效排除微粒污染。非单一流向型无尘室,由于微粒控制的观念是稀释,不是立即排除,一般而言其换气量远比风速重要,因此多只需要测量风量。
无尘测试最初的引入是为了给洁净室行业提供全新的防护体验,而由于在洁净室中对产品的影响多是微观因素,即一些肉眼看不见的尘粒子、微生物等,所以也就有了以下五大无尘测试标准。
1.LPC测试(液态尘粒测试):LPC测试是将被测物浸泡于DI水中,再进行1分钟的超声波震荡,将附着在被测物上的尘粒溶解于DI水中,然后计算DI水中液态尘粒的数量的方法。该测试是检查手套洁净度的一种重要测试方法,主要看手套会跌落多少对产品有影响的尘粒,如磁头行业,对于大于或等于0.5UM的尘粒,不能超过3000个每平方厘米(@0.5um<=3000counts/cm^2)。
2.NVR(非挥发性残留物测试)测试:是测试手套上非挥发性残留物含量的一种测试方法,测试时,用一定量的溶剂对被测试部位进行淋洗或浸泡,收集淋洗或浸泡后的溶液使溶剂挥发,用微量天平称量残留物,即可得出手套上非挥发性残留物的含量.,NVR超标可知手套表面有非挥发性残留物污染。在电脑硬盘行业,一般规定NVR<20ug/cm^2。
3.FTIR(傅立叶红外线光谱)测试:由于产品的要求,无尘室不允许有硅油、氨基化合物、DOP等物质存在,因为该些物质会影响到产品的质量。因此,对手套必须进行FTIR测试。测试时,用一定量的溶剂对被测试部位进行淋洗或浸泡,收集淋洗或浸泡后的溶液使溶剂挥发,将残留物作红外线光谱分析。这种方法可以分析出手套上是否残留有硅油、氨基化合物、DOP等。(注意:该测试的结果如果合格,则表示上述三种残留物没有超过敏感线,并不表示完全没有)。
4.IC(离子测试):是将被测物浸泡于DI水中,再进行超声波震荡,将附着在被测物上的无机阴阳离子溶解于DI水中,然后再进行色谱分析的方法。IC测试可测出被测物上阴阳离子的种类,及每种离子的含量。该测试最常监控的离子是CI、NO3、SO4、PO4等,一般总重量不能超过1.0(Total<1.0)。
5.GC(有机挥发物色谱测试):是用来分析手套上有机污染物的种类和含量的一种方法。测试时,将手套加温到一定温度,使有机污染物挥发,将挥发出来的气体收集起来,进行色谱分析,可得出有机污染物的种类和含量,当GC测试超标时,说明手套上的有机污染物超标。一般在磁头行业其标准控制在10ug/g(Total:GC<10ug/g)。
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